一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921140925.0

申请日：

2019-07-19

公开(公告)号：

CN210420155U

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

赵朋松殷科平殷文杰李吉胡番夏利鹏顾生刚刘海金赵本定杨二存赵小平

申请人：

申请人地址：

300400 天津市北辰区天津北辰经济技术开发区科技园高新大道与景通路交口东北侧

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

H01L21673

代理机构：

广州知友专利商标代理有限公司 44104

代理人：

高文龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟 [P].

余波 ;

郑方渊 ;

张华 ;

冯晓倩 .

中国专利 :CN213925009U ,2021-08-10

[2]

一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟 [P].

杨东 ;

郑应轩 ;

史志平 ;

陈晓 ;

王岚 ;

张忠文 ;

谢毅 .

中国专利 :CN210403679U ,2020-04-24

[3]

一种兼容大尺寸硅片的PECVD石墨载板 [P].

王茜茜 ;

职森森 ;

刘晓瑞 ;

周浩 ;

吴仕梁 ;

路忠林 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN211079326U ,2020-07-24

[4]

用于大尺寸硅片镀膜的石墨舟舟片及石墨舟 [P].

徐义兰 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN213660362U ,2021-07-09

[5]

一种兼容电池片尺寸的石墨舟 [P].

王东 ;

刘文国 ;

谢代鹏 ;

彭彪 .

中国专利 :CN212874458U ,2021-04-02

[6]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[7]

一种用于搭载不同尺寸硅片的PECVD石墨载板 [P].

杨林海 ;

童锐 ;

王海超 ;

张满良 .

中国专利 :CN207852633U ,2018-09-11

[8]

一种兼容多种尺寸太阳能电池片的PECVD石墨舟 [P].

苏生洪 .

中国专利 :CN217922309U ,2022-11-29

[9]

一种适合大尺寸硅片的石墨舟片 [P].

杨飞飞 ;

刘东林 ;

张波 ;

李雪方 ;

梁玲 .

中国专利 :CN222008043U ,2024-11-15

[10]

一种适应不同硅片尺寸石英舟 [P].

孔超 ;

徐亮荣 ;

郭辉 .

中国专利 :CN209328863U ,2019-08-30

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