一种防止硅片磨损的PECVD石墨舟

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921438754.X

申请日：

2019-08-30

公开(公告)号：

CN210403679U

公开(公告)日：

2020-04-24

发明(设计)人：

杨东郑应轩史志平陈晓王岚张忠文谢毅

申请人：

申请人地址：

620000 四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

C23C16458 H01L3118

代理机构：

成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230

代理人：

谢建

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于石墨舟的隔离环、石墨舟以及PECVD设备 [P].

刘庆平 ;

丁超 ;

董广斌 ;

童洪波 .

中国专利 :CN221094282U ,2024-06-07

[2]

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架 [P].

王平 ;

周天贤 ;

张军虎 .

中国专利 :CN204151412U ,2015-02-11

[3]

一种兼容不同尺寸硅片的PECVD石墨舟 [P].

赵朋松 ;

殷科平 ;

殷文杰 ;

李吉 ;

胡番 ;

夏利鹏 ;

顾生刚 ;

刘海金 ;

赵本定 ;

杨二存 ;

赵小平 .

中国专利 :CN210420155U ,2020-04-28

[4]

一种PECVD设备石墨舟保护机构 [P].

林启 ;

陈刚 ;

汪伟 ;

魏玉明 .

中国专利 :CN208507638U ,2019-02-15

[5]

管式PECVD石墨舟硅片复位拍舟装置 [P].

邹海军 ;

吴家宏 ;

张凯胜 ;

姚伟忠 ;

孙铁囤 .

中国专利 :CN209652423U ,2019-11-19

[6]

石墨舟及使用该石墨舟的PECVD设备 [P].

邓金生 ;

王凯 ;

赵峰 ;

李操政 .

中国专利 :CN210394518U ,2020-04-24

[7]

一种石墨舟舟片、石墨舟及硅片镀膜设备 [P].

高凤海 ;

费正洪 ;

李栋 .

中国专利 :CN209418475U ,2019-09-20

[8]

可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备 [P].

邓金生 ;

周宏业 ;

黎佐兴 ;

李时俊 .

中国专利 :CN210884895U ,2020-06-30

[9]

具有新结构石墨舟的PECVD设备 [P].

宋立禄 .

中国专利 :CN202323023U ,2012-07-11

[10]

一种石墨舟电极头以及PECVD设备 [P].

燕帅 ;

何军涛 ;

韦伟东 ;

何俊 ;

张楠楠 ;

朱新刚 ;

刘颜清 ;

李瑞波 .

中国专利 :CN221141869U ,2024-06-14

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