防止光刻胶泄漏的装置和光刻胶输出装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200820123013.8

申请日：

2008-10-14

公开(公告)号：

CN201266302Y

公开(公告)日：

2009-07-01

发明(设计)人：

任亚然

申请人：

申请人地址：

100176北京市经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

王琦;王诚华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-06	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20081014 授权公告日:20090701
2009-07-01	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶喷涂装置和光刻胶喷涂系统 [P].

陈宁 ;

刘兴东 .

中国专利 :CN203275872U ,2013-11-06

[2]

光刻胶除去装置和光刻胶除去方法 [P].

远藤民夫 ;

佐藤淳 ;

天野泰彦 ;

田村哲司 .

中国专利 :CN1653596A ,2005-08-10

[3]

光刻胶供应装置和光刻胶供应系统 [P].

徐阳 ;

余坚 ;

纪开勋 ;

杜龙 ;

李晨 .

中国专利 :CN217767184U ,2022-11-08

[4]

光刻胶去除装置和去除光刻胶的方法 [P].

张凇铭 ;

惠世鹏 ;

刘效岩 .

中国专利 :CN111610698A ,2020-09-01

[5]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[6]

光刻胶烘干装置 [P].

袁元 ;

袁文旭 ;

程潇 .

中国专利 :CN210573184U ,2020-05-19

[7]

光刻胶涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20

[8]

光刻胶喷吐装置 [P].

王云翔 ;

马冬月 ;

段仲伟 ;

姚园 .

中国专利 :CN223602764U ,2025-11-28

[9]

饶夙缔 ;

陈孝贤 .

中国专利 :CN110174819B ,2019-08-27

[10]

光刻胶涂布装置 [P].

张海陆 ;

颜廷彪 ;

叶日铨 ;

黄志凯 .

中国专利 :CN208432846U ,2019-01-25

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