一种晶圆腐蚀抛动机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920737584.9

申请日：

2019-05-22

公开(公告)号：

CN210304821U

公开(公告)日：

2020-04-14

发明(设计)人：

刘金升沙永健

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区太平街道聚金路5号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

B08B304 H01L2167

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

吕明霞

法律状态：

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国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗抛动机构 [P].

王宜 .

中国专利 :CN221947090U ,2024-11-01

[2]

晶圆双轴承升降抛动机构 [P].

张迎彬 ;

李宗颖 ;

周浩 ;

李勇刚 ;

李玉萍 .

中国专利 :CN212322968U ,2021-01-08

[3]

一种新型的晶圆清洗整槽抛动机构 [P].

袁学东 ;

孙学巍 ;

高宇轩 ;

赵伯辰 .

中国专利 :CN221747174U ,2024-09-20

[4]

一种晶圆移动机构 [P].

陈有亮 ;

彭博 .

中国专利 :CN216084827U ,2022-03-18

[5]

晶圆驱动机构 [P].

殷骐 .

中国专利 :CN216793621U ,2022-06-21

[6]

晶圆转动机构 [P].

左国军 ;

成旭 ;

付正超 ;

王千熙 .

中国专利 :CN217857709U ,2022-11-22

[7]

一种晶圆片抛光用上抛机构 [P].

刘建伟 ;

祝斌 ;

袁祥龙 ;

武卫 ;

由佰玲 ;

刘园 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN212947223U ,2021-04-13

[8]

一种抛动式晶圆清洗机构 [P].

乔涛涛 .

中国专利 :CN223038904U ,2025-06-27

[9]

一种晶圆干燥摆动机构 [P].

邓信甫 ;

唐宝国 ;

张九勤 ;

刘大威 .

中国专利 :CN217179145U ,2022-08-12

[10]

一种晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215902324U ,2022-02-25

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