一种晶圆片抛光用上抛机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021644203.1

申请日：

2020-08-10

公开(公告)号：

CN212947223U

公开(公告)日：

2021-04-13

发明(设计)人：

刘建伟祝斌袁祥龙武卫由佰玲刘园刘姣龙裴坤羽孙晨光王彦君常雪岩杨春雪谢艳张宏杰刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B24B3728

IPC分类号：

B24B5702 B24B4104 B24B4900

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片快速抛光用夹具 [P].

陈琳 .

中国专利 :CN209681915U ,2019-11-26

[2]

一种晶圆片及用于该晶圆片的抛光机构 [P].

祝斌 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

刘姣龙 ;

裴坤羽 ;

杨春雪 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214685872U ,2021-11-12

[3]

一种晶圆片抛光夹具 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215357930U ,2021-12-31

[4]

一种晶圆片抛光垫 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214923290U ,2021-11-30

[5]

一种晶硅晶圆抛光用工装 [P].

高鹏程 .

中国专利 :CN212265530U ,2021-01-01

[6]

一种晶圆片的抛光夹具 [P].

徐云明 ;

徐明阳 .

中国专利 :CN206263785U ,2017-06-20

[7]

一种晶圆片铲片机构 [P].

姬煜 ;

赵通 .

中国专利 :CN212967661U ,2021-04-13

[8]

一种晶圆抛光用厚度监测装置 [P].

贺贤汉 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 ;

杉原一男 .

中国专利 :CN215920090U ,2022-03-01

[9]

一种晶圆抛光用卡盘结构 [P].

李文明 ;

龙科 .

中国专利 :CN217942962U ,2022-12-02

[10]

一种晶圆抛光用卡盘结构 [P].

张金 .

中国专利 :CN222308492U ,2025-01-07

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