一种晶圆片腐蚀清洗机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121828642.2

申请日：

2021-08-06

公开(公告)号：

CN215902324U

公开(公告)日：

2022-02-25

发明(设计)人：

贺贤汉杉原一男佐藤泰幸原英樹

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区宝山城市工业园区山连路181号

IPC主分类号：

B08B310

IPC分类号：

B08B302 B08B504 B08B1300 H01L2167

代理机构：

铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105

代理人：

李坤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212517123U ,2021-02-09

[2]

一种晶圆片盒清洗机构 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周少龙 .

中国专利 :CN208853419U ,2019-05-14

[3]

一种晶圆片清洗机 [P].

薛小宾 .

中国专利 :CN212494080U ,2021-02-09

[4]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[5]

一种晶圆片腐蚀清洗笼 [P].

陈康 ;

刘四化 ;

王宜 ;

王晓波 .

中国专利 :CN214411137U ,2021-10-15

[6]

一种晶圆清洗机构 [P].

王利兵 .

中国专利 :CN221766711U ,2024-09-24

[7]

一种晶圆片高效分选的自动清洗机构 [P].

张栖源 .

中国专利 :CN208093514U ,2018-11-13

[8]

晶圆片腐蚀清洗笼 [P].

邵树宝 ;

王福亮 ;

储冬华 ;

陈利锋 ;

赵芹 ;

何婷婷 ;

陈素荣 .

中国专利 :CN111508873A ,2020-08-07

[9]

一种晶圆片清洗机 [P].

陈跃华 ;

卜志超 ;

吴怡平 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN114833117A ,2022-08-02

[10]

一种晶圆片全自动清洗机 [P].

周鹏程 ;

戚孝峰 .

中国专利 :CN212018712U ,2020-11-27

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