一种晶圆片盒清洗机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821338009.3

申请日：

2018-08-17

公开(公告)号：

CN208853419U

公开(公告)日：

2019-05-14

发明(设计)人：

钱诚李刚周少龙

申请人：

申请人地址：

214121 江苏省无锡市滨湖区中关村软件园30号楼（C3）125-128、227、229、231-238

IPC主分类号：

B08B934

IPC分类号：

F26B2100

代理机构：

无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104

代理人：

曹祖良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-14	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212517123U ,2021-02-09

[2]

一种晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215902324U ,2022-02-25

[3]

一种晶圆片盒清洗结构 [P].

陈康 ;

刘四化 ;

王宜 ;

张啟涛 .

中国专利 :CN214391542U ,2021-10-15

[4]

一种晶圆片清洗机 [P].

薛小宾 .

中国专利 :CN212494080U ,2021-02-09

[5]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[6]

一种用于晶圆片盒子的开盒机构 [P].

李海新 ;

黄凤先 ;

黄灿 .

中国专利 :CN208938941U ,2019-06-04

[7]

一种晶圆片盒 [P].

胡明 ;

胡洋 ;

刘乾坤 ;

陈恳 ;

王虎 ;

聂铭思 .

中国专利 :CN212517140U ,2021-02-09

[8]

一种晶圆片盒 [P].

胡明 ;

高文丽 ;

尚书丽 ;

王虎 ;

聂铭思 ;

陈雷 .

中国专利 :CN212967633U ,2021-04-13

[9]

一种晶圆清洗机构 [P].

王利兵 .

中国专利 :CN221766711U ,2024-09-24

[10]

一种晶圆片高效分选的自动清洗机构 [P].

张栖源 .

中国专利 :CN208093514U ,2018-11-13

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