一种晶圆片腐蚀清洗笼

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120631166.9

申请日：

2021-03-29

公开(公告)号：

CN214411137U

公开(公告)日：

2021-10-15

发明(设计)人：

陈康刘四化王宜王晓波

申请人：

申请人地址：

214064 江苏省无锡市滨湖区青龙山工业园127号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

南京常青藤知识产权代理有限公司 32286

代理人：

毛洪梅

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆片腐蚀清洗笼 [P].

邵树宝 ;

王福亮 ;

储冬华 ;

陈利锋 ;

赵芹 ;

何婷婷 ;

陈素荣 .

中国专利 :CN111508873A ,2020-08-07

[2]

一种半导体晶圆片腐蚀笼 [P].

王云飞 ;

贾世杰 ;

魏守冲 .

中国专利 :CN222281950U ,2024-12-31

[3]

晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212517123U ,2021-02-09

[4]

一种晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215902324U ,2022-02-25

[5]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[6]

一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载系统 [P].

陈新来 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN214175990U ,2021-09-10

[7]

一种晶圆片腐蚀装置 [P].

刘姣龙 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

武卫 ;

由佰玲 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213905296U ,2021-08-06

[8]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[9]

一种晶圆片清洗装置 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214417128U ,2021-10-19

[10]

一种晶圆片全自动清洗设备 [P].

程玉学 .

中国专利 :CN212625508U ,2021-02-26

← 1 2 3 4 5 →