一种晶圆清洗抛动机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323303207.X

申请日：

2023-12-05

公开(公告)号：

CN221947090U

公开(公告)日：

2024-11-01

发明(设计)人：

王宜

申请人：

无锡海浥半导体科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市经济开发区太湖街道震泽路688号太湖湾信息技术产业园1号楼523-11

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687 B08B13/00 B08B3/04

代理机构：

无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492

代理人：

许帅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种清洗槽圆篮高抛滚动机构 [P].

张靖 ;

熊盼龙 ;

陈长岭 ;

张欣欣 ;

曾毓源 ;

吴立将 ;

李新连 ;

闵元元 ;

沈祖明 ;

胡俊 .

中国专利 :CN223197617U ,2025-08-08

[2]

一种晶圆腐蚀抛动机构 [P].

刘金升 ;

沙永健 .

中国专利 :CN210304821U ,2020-04-14

[3]

一种新型的晶圆清洗整槽抛动机构 [P].

袁学东 ;

孙学巍 ;

高宇轩 ;

赵伯辰 .

中国专利 :CN221747174U ,2024-09-20

[4]

一种晶圆清洗槽的晃动机构 [P].

侯承明 ;

施宁娣 ;

薛伸伸 ;

曹海洋 .

中国专利 :CN221086559U ,2024-06-07

[5]

晶圆双轴承升降抛动机构 [P].

张迎彬 ;

李宗颖 ;

周浩 ;

李勇刚 ;

李玉萍 .

中国专利 :CN212322968U ,2021-01-08

[6]

一种真空清洗槽内的抛动机构 [P].

郑茂锦 .

中国专利 :CN203955624U ,2014-11-26

[7]

一种抛动式晶圆清洗机构 [P].

乔涛涛 .

中国专利 :CN223038904U ,2025-06-27

[8]

晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

邬龙威 ;

朱松 ;

谢亚楠 ;

魏兴亮 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223390538U ,2025-09-26

[9]

一种用于晶圆清洗装置的从动机构及晶圆清洗装置 [P].

傅棽 ;

陈圣 ;

王东辉 .

中国专利 :CN120854342A ,2025-10-28

[10]

一种用于晶圆清洗装置的从动机构及晶圆清洗装置 [P].

傅棽 ;

陈圣 ;

王东辉 .

中国专利 :CN120854342B ,2025-12-05

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