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一种用于晶圆清洗装置的从动机构及晶圆清洗装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511368535.9
申请日：
2025-09-24
公开(公告)号：
CN120854342A
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
傅棽 陈圣 王东辉
申请人：
杭州众硅电子科技有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/687 F16C37/00 F16N21/00
代理机构：
杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267
代理人：
邵志
法律状态：
公开
国省代码：
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-28 公开 公开
2025-11-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250924
2025-12-05 授权 授权
共 50 条
[1]
一种用于晶圆清洗装置的从动机构及晶圆清洗装置 [P]. 
傅棽 ;
陈圣 ;
王东辉 .
中国专利 :CN120854342B ,2025-12-05
[2]
晶圆夹紧机构及晶圆清洗装置 [P]. 
万先进 ;
邬龙威 ;
朱松 ;
谢亚楠 ;
魏兴亮 ;
锁志勇 ;
边逸军 .
中国专利 :CN223390538U ,2025-09-26
[3]
晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P]. 
刘佳奇 ;
姚零一 .
中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30
[4]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
马玲 ;
韦亚一 ;
徐步青 ;
董立松 .
中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12
[5]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
陈海龙 .
中国专利 :CN111009484B ,2020-04-14
[6]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
胡亚林 ;
黄振伟 ;
王昭钦 .
中国专利 :CN112885741B ,2021-06-01
[7]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
汪子文 ;
张利 ;
李名浩 ;
魏星 ;
李炜 .
中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05
[8]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
刘卫坤 ;
刘远航 ;
靳凯强 .
中国专利 :CN118431148A ,2024-08-02
[9]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
吴奇龙 .
中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28
[10]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
董鹏 .
中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23
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