场效应晶体管的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110454057.5

申请日：

2011-12-29

公开(公告)号：

CN103187284B

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

韩秋华张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-03	公开	公开
2013-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101499122954 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2011104540575 申请日:20111229
2015-10-14	授权	授权

共 50 条

[1]

场效应晶体管的制作方法 [P].

金炎 .

中国专利 :CN106033727A ,2016-10-19

[2]

场效应晶体管的制作方法 [P].

王蛟 ;

黄枫 ;

赵龙杰 ;

林峰 ;

韩广涛 ;

孙贵鹏 .

中国专利 :CN106033726A ,2016-10-19

[3]

场效应晶体管的制作方法、场效应晶体管及栅极结构 [P].

张焕云 ;

吴健 .

中国专利 :CN111384160A ,2020-07-07

[4]

一种场效应晶体管的制作方法及场效应晶体管 [P].

赵冲 ;

唐样洋 ;

张臣雄 .

中国专利 :CN109478565A ,2019-03-15

[5]

超结场效应晶体管的制作方法 [P].

刘龙平 .

中国专利 :CN112038391B ,2024-05-24

[6]

超结场效应晶体管的制作方法 [P].

刘龙平 .

中国专利 :CN112038391A ,2020-12-04

[7]

沟槽场效应晶体管的制作方法 [P].

吴亚贞 .

中国专利 :CN102738008A ,2012-10-17

[8]

氮化镓场效应晶体管的制作方法及氮化镓场效应晶体管 [P].

刘美华 ;

孙辉 ;

林信南 ;

陈建国 .

中国专利 :CN107230629A ,2017-10-03

[9]

场效应晶体管的制备方法和场效应晶体管 [P].

赵圣哲 .

中国专利 :CN106158665A ,2016-11-23

[10]

场效应晶体管的制备方法和场效应晶体管 [P].

马万里 ;

赵圣哲 .

中国专利 :CN107104050A ,2017-08-29

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