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一种用于高密度等离子体发生装置的整体式放电腔室
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220345661.4
申请日：
2012-07-17
公开(公告)号：
CN202738245U
公开(公告)日：
2013-02-13
发明(设计)人：
芶富均
申请人：
申请人地址：
610200 四川省成都市双流西南航空港经济开发区工业集中区（西航港科技孵化园）
IPC主分类号：
H05H124
IPC分类号：
H05H128
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-09-10 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101586818929 IPC(主分类):H05H 1/24 专利号:ZL2012203456614 申请日:20120717 授权公告日:20130213 终止日期:20130717 |
| 2013-02-13 | 授权 | 授权 |