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光学检测方法、系统及光学器件制造系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811468152.9
申请日：
2018-12-03
公开(公告)号：
CN109520712B
公开(公告)日：
2019-03-26
发明(设计)人：
谈顺毅
申请人：
申请人地址：
215512 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区科创园1号楼401
IPC主分类号：
G01M1102
IPC分类号：
代理机构：
上海段和段律师事务所 31334
代理人：
李佳俊;郭国中
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-17 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20181203 |