晶圆键合机

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201811055423.8
申请日
2018-09-11
公开(公告)号
CN109192684B
公开(公告)日
2019-01-11
发明(设计)人
刘博佳 王海宽 吴龙江 林宗贤
申请人
申请人地址
223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
代理机构
上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291
代理人
杨楷;毛立群
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆键合压头及晶圆键合机 [P]. 
倪奎 ;
高智伟 ;
母凤文 ;
谭向虎 ;
刘福超 .
中国专利 :CN222927422U ,2025-05-30
[2]
晶圆键合装置及晶圆键合方法 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN119673815A ,2025-03-21
[3]
一种晶圆键合机 [P]. 
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN223651357U ,2025-12-09
[4]
晶圆键合方法及晶圆键合装置 [P]. 
刘武 ;
冯皓 ;
袁绅豪 .
中国专利 :CN114121687A ,2022-03-01
[5]
晶圆键合装置及晶圆键合方法 [P]. 
邢瑞远 ;
丁滔滔 ;
王家文 ;
刘武 ;
刘孟勇 ;
陈国良 .
中国专利 :CN109585346B ,2019-04-05
[6]
一种键合压头及晶圆键合机 [P]. 
倪奎 ;
高智伟 ;
母凤文 ;
谭向虎 ;
刘福超 .
中国专利 :CN222927423U ,2025-05-30
[7]
用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置 [P]. 
司伟 ;
白龙 .
中国专利 :CN112053975A ,2020-12-08
[8]
用于晶圆键合的键合盘以及晶圆键合装置 [P]. 
司伟 ;
白龙 .
中国专利 :CN212659518U ,2021-03-05
[9]
晶圆对位键合装置及晶圆键合方法 [P]. 
田雨秋 ;
高智伟 ;
母凤文 ;
谭向虎 ;
刘福超 .
中国专利 :CN119297094A ,2025-01-10
[10]
晶圆键合对位机构及晶圆键合方法 [P]. 
王敕 ;
卜佳俊 ;
米野 ;
马欢 .
中国专利 :CN119694962A ,2025-03-25