Si蚀刻方法及蚀刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03156626.X

申请日：

2003-09-05

公开(公告)号：

CN1276479C

公开(公告)日：

2004-04-21

发明(设计)人：

斋田喜孝山口雅司

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-04-21	公开	公开
2006-09-20	授权	授权
2004-06-30	实质审查的生效	实质审查的生效
2014-10-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101587772847 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL03156626X 申请日:20030905 授权公告日:20060920 终止日期:20130905

共 50 条

[1]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

齐藤进 ;

清水昭贵 .

中国专利 :CN1750237A ,2006-03-22

[2]

蚀刻方法和蚀刻装置 [P].

西塚哲也 .

中国专利 :CN100565816C ,2008-11-19

[3]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

小风丰 ;

远藤光广 ;

植田昌久 ;

邹红罡 ;

宫崎俊也 ;

中村敏幸 .

中国专利 :CN101681829A ,2010-03-24

[4]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

胜沼隆幸 .

中国专利 :CN1628375A ,2005-06-15

[5]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

邻嘉津彦 .

中国专利 :CN114695108A ,2022-07-01

[6]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

隣嘉津彦 ;

井上宽扬 ;

小野洋平 ;

朴俊唱 ;

金洹渶 .

日本专利 :CN118352213A ,2024-07-16

[7]

蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

坂本雅人 ;

石坂忠大 ;

板谷刚司 .

中国专利 :CN110473782A ,2019-11-19

[8]

蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

鸟井夏实 ;

永海幸一 ;

益田法生 ;

铃木贵幸 .

中国专利 :CN113594015A ,2021-11-02

[9]

蚀刻装置和蚀刻方法 [P].

永海幸一 ;

永关一也 .

日本专利 :CN110416116B ,2024-03-29

[10]

蚀刻装置和蚀刻方法 [P].

永海幸一 ;

永关一也 .

中国专利 :CN110416116A ,2019-11-05

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