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基板搬送机械手、真空处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200880107039.6
申请日：
2008-08-05
公开(公告)号：
CN101801615A
公开(公告)日：
2010-08-11
发明(设计)人：
吾乡健二
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
B25J906
IPC分类号：
B25J1700
B65G4907
H01L21677
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
严志军;杨楷
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-02-13 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101515208002 IPC(主分类):B25J 9/06 专利申请号:2008801070396 申请公布日:20100811 |
| 2010-08-11 | 公开 | 公开 |
| 2010-09-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006240154 IPC(主分类):B25J 9/06 专利申请号:2008801070396 申请日:20080805 |