一种硅片破损检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020752630.5

申请日：

2020-05-09

公开(公告)号：

CN211957598U

公开(公告)日：

2020-11-17

发明(设计)人：

嵇峰

申请人：

申请人地址：

225800 江苏省扬州市宝应县氾水镇工业集中区跃胜路

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

陈亮

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片破损检测装置及检测方法 [P].

嵇峰 .

中国专利 :CN111477559A ,2020-07-31

[2]

一种硅片破损检测设备 [P].

刘大鹏 ;

张涛 ;

梁善友 ;

蒋开发 ;

张勇 .

中国专利 :CN205262985U ,2016-05-25

[3]

一种道路破损检测装置 [P].

迟笑宇 ;

张盛宇 ;

喻正吾 ;

谷晓川 ;

冷栢双 ;

于志伟 ;

孙萃芳 .

中国专利 :CN223320317U ,2025-09-09

[4]

一种破损硅片剔除装置 [P].

金磊 .

中国专利 :CN215696009U ,2022-02-01

[5]

一种硅片检测装置 [P].

李志强 .

中国专利 :CN209715770U ,2019-12-03

[6]

一种硅片检测装置 [P].

徐明 .

中国专利 :CN211578774U ,2020-09-25

[7]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

曹深深 ;

云宏霞 ;

张聪 ;

梁坤 .

中国专利 :CN215812463U ,2022-02-11

[8]

一种硅片检测装置 [P].

卢亚宾 ;

梁坤 ;

张聪 ;

云宏霞 ;

曹深深 .

中国专利 :CN215812477U ,2022-02-11

[9]

一种硅片检测装置 [P].

张强 ;

缪海波 .

中国专利 :CN215297174U ,2021-12-24

[10]

一种硅片及硅片的检测装置 [P].

张军 ;

马自成 .

中国专利 :CN213546328U ,2021-06-25

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