超高元胞密度深沟槽功率MOS器件及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110405658.7
申请日
2011-12-08
公开(公告)号
CN102420252B
公开(公告)日
2012-04-18
发明(设计)人
朱袁正 秦旭光 丁磊
申请人
申请人地址
214131 江苏省无锡市滨湖区高浪东路999号(与华清路交叉口)无锡(滨湖)国家信息传感中心-B1号楼东侧第2层
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
H01L2906 H01L21336 H01L2128
代理机构
无锡市大为专利商标事务所 32104
代理人
曹祖良
法律状态
实质审查的生效
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
超高元胞密度深沟槽功率MOS器件 [P]. 
朱袁正 ;
秦旭光 ;
丁磊 .
中国专利 :CN202384343U ,2012-08-15
[2]
具有超高元胞密度的深沟槽功率MOS器件及其制造方法 [P]. 
朱袁正 ;
冷德武 .
中国专利 :CN104576743A ,2015-04-29
[3]
具有超高元胞密度的深沟槽功率MOS器件 [P]. 
朱袁正 ;
冷德武 .
中国专利 :CN204375758U ,2015-06-03
[4]
深沟槽功率MOS器件 [P]. 
黄彦智 ;
陆佳顺 ;
杨洁雯 .
中国专利 :CN208045510U ,2018-11-02
[5]
深沟槽功率MOS器件及其制造方法 [P]. 
黄晓橹 ;
王代利 ;
刘伯昌 ;
陈逸清 .
中国专利 :CN103151310B ,2013-06-12
[6]
深沟槽功率器件及其制造方法 [P]. 
杨东林 ;
陈文高 ;
刘侠 .
中国专利 :CN109494255A ,2019-03-19
[7]
深沟槽功率器件及其制备方法 [P]. 
陈茜 .
中国专利 :CN112133750B ,2024-02-13
[8]
深沟槽功率器件及其制备方法 [P]. 
陈茜 .
中国专利 :CN112133750A ,2020-12-25
[9]
低漏电流深沟槽功率MOS器件 [P]. 
黄彦智 ;
陆佳顺 ;
杨洁雯 .
中国专利 :CN208045509U ,2018-11-02
[10]
高密度低压沟槽功率MOS器件及其制造方法 [P]. 
周祥瑞 ;
冷德武 ;
王毅 .
中国专利 :CN106653831A ,2017-05-10