硅片预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510091986.2

申请日：

2015-02-28

公开(公告)号：

CN105988305A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

周细文孙伟旺田翠侠郑教增

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H01L2168

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	公开	公开
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686684567 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015100919862 申请日:20150228
2018-03-02	授权	授权
2017-09-05	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758699192 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015100919862 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号

共 50 条

[1]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[2]

硅片预对准的方法 [P].

王科 .

中国专利 :CN101436004A ,2009-05-20

[3]

硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN203644747U ,2014-06-11

[4]

硅片预对准装置 [P].

郭鹏 .

中国专利 :CN103472680A ,2013-12-25

[5]

一种硅片预对准装置及预对准方法 [P].

张鹏远 ;

姜杰 ;

王绍玉 .

中国专利 :CN102157421B ,2011-08-17

[6]

硅片预对准机构、曝光装置及曝光方法 [P].

徐伟 .

中国专利 :CN106997159A ,2017-08-01

[7]

大翘曲硅片预对准装置及方法 [P].

于大维 ;

潘炼东 ;

张冲 .

中国专利 :CN103681426B ,2014-03-26

[8]

一种硅片预对准装置及方法 [P].

蔡巍 ;

徐兵 ;

陈跃飞 ;

王端秀 .

中国专利 :CN102402127A ,2012-04-04

[9]

光刻设备及硅片预对准方法 [P].

王刚 .

中国专利 :CN113467202B ,2021-10-01

[10]

一种硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN106933069A ,2017-07-07

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