一种硅片预对准装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010286105.X

申请日：

2010-09-17

公开(公告)号：

CN102402127A

公开(公告)日：

2012-04-04

发明(设计)人：

蔡巍徐兵陈跃飞王端秀

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

王光辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-04-04	公开	公开
2017-12-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号
2014-01-22	授权	授权
2012-06-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101261915439 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201010286105X 申请日:20100917

共 50 条

[1]

大翘曲硅片预对准装置及方法 [P].

于大维 ;

潘炼东 ;

张冲 .

中国专利 :CN103681426B ,2014-03-26

[2]

一种硅片预对准装置及预对准方法 [P].

张鹏远 ;

姜杰 ;

王绍玉 .

中国专利 :CN102157421B ,2011-08-17

[3]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[4]

硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN105988305A ,2016-10-05

[5]

硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN203644747U ,2014-06-11

[6]

硅片预对准装置 [P].

郭鹏 .

中国专利 :CN103472680A ,2013-12-25

[7]

硅片预对准机构、曝光装置及曝光方法 [P].

徐伟 .

中国专利 :CN106997159A ,2017-08-01

[8]

一种硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN106933069A ,2017-07-07

[9]

一种硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN103489818A ,2014-01-01

[10]

一种硅片预对准装置及其方法 [P].

於陈慧 ;

杜荣 .

中国专利 :CN104576483A ,2015-04-29

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