一种硅片预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201511021917.0

申请日：

2015-12-30

公开(公告)号：

CN106933069A

公开(公告)日：

2017-07-07

发明(设计)人：

周细文孙伟旺田翠侠郑教增

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-15	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759229076 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2015110219170 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更事项:申请人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司
2018-07-20	授权	授权
2017-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101738378445 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2015110219170 申请日:20151230
2017-07-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅片预对准装置及预对准方法 [P].

张鹏远 ;

姜杰 ;

王绍玉 .

中国专利 :CN102157421B ,2011-08-17

[2]

硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN105988305A ,2016-10-05

[3]

硅片预对准装置 [P].

郭鹏 .

中国专利 :CN103472680A ,2013-12-25

[4]

一种硅片预对准装置及方法 [P].

蔡巍 ;

徐兵 ;

陈跃飞 ;

王端秀 .

中国专利 :CN102402127A ,2012-04-04

[5]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[6]

硅片预对准的方法 [P].

王科 .

中国专利 :CN101436004A ,2009-05-20

[7]

一种硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN103489818A ,2014-01-01

[8]

一种硅片预对准装置 [P].

丛明 ;

杜宇 ;

张传思 ;

孔祥吉 ;

沈宝宏 ;

金立刚 .

中国专利 :CN1937202A ,2007-03-28

[9]

硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN203644747U ,2014-06-11

[10]

一种硅片预对准装置和方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

郎新科 ;

杨金国 .

中国专利 :CN111106053A ,2020-05-05

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