一种硅片预对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610048031.X

申请日：

2006-10-13

公开(公告)号：

CN1937202A

公开(公告)日：

2007-03-28

发明(设计)人：

丛明杜宇张传思孔祥吉沈宝宏金立刚

申请人：

申请人地址：

116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

代理机构：

大连理工大学专利中心

代理人：

侯明远

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-28	公开	公开
2007-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2020-10-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20061013 授权公告日:20080813 终止日期:20191013
2008-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[2]

硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN203644747U ,2014-06-11

[3]

硅片预对准装置 [P].

郭鹏 .

中国专利 :CN103472680A ,2013-12-25

[4]

一种硅片预对准装置及预对准方法 [P].

张鹏远 ;

姜杰 ;

王绍玉 .

中国专利 :CN102157421B ,2011-08-17

[5]

一种硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN103489818A ,2014-01-01

[6]

一种硅片预对准测量装置 [P].

王邵玉 .

中国专利 :CN103246166B ,2013-08-14

[7]

一种硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN106933069A ,2017-07-07

[8]

硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN105988305A ,2016-10-05

[9]

一种硅片预对准装置和方法 [P].

王刚 ;

杨思雨 ;

郎新科 ;

杨金国 .

中国专利 :CN111106053A ,2020-05-05

[10]

一种硅片预对准装置及方法 [P].

蔡巍 ;

徐兵 ;

陈跃飞 ;

王端秀 .

中国专利 :CN102402127A ,2012-04-04

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