预对准装置及硅片预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810911933.4

申请日：

2018-08-10

公开(公告)号：

CN110828359B

公开(公告)日：

2020-02-21

发明(设计)人：

王刚付红艳宋海军黄栋梁

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2167 G03F720

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-02-15	授权	授权
2020-03-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20180810
2020-02-21	公开	公开

共 50 条

[1]

硅片预对准方法 [P].

周细文 ;

孙伟旺 ;

田翠侠 ;

郑教增 .

中国专利 :CN105988305A ,2016-10-05

[2]

一种硅片预对准装置及预对准方法 [P].

张鹏远 ;

姜杰 ;

王绍玉 .

中国专利 :CN102157421B ,2011-08-17

[3]

硅片预对准装置 [P].

陈百捷 ;

姚广军 ;

马丽梅 ;

刘学辉 .

中国专利 :CN203644747U ,2014-06-11

[4]

硅片预对准装置 [P].

郭鹏 .

中国专利 :CN103472680A ,2013-12-25

[5]

预对准方法及预对准装置 [P].

杨思雨 ;

陈俊朋 ;

刘浩 ;

高宇航 ;

解奇军 ;

郎新科 .

中国专利 :CN119361499A ,2025-01-24

[6]

硅片预对准的方法 [P].

王科 .

中国专利 :CN101436004A ,2009-05-20

[7]

预对准装置以及预对准方法 [P].

桥永宙 .

中国专利 :CN102257437B ,2011-11-23

[8]

光刻设备及硅片预对准方法 [P].

王刚 .

中国专利 :CN113467202B ,2021-10-01

[9]

一种硅片预对准装置 [P].

丛明 ;

杜宇 ;

张传思 ;

孔祥吉 ;

沈宝宏 ;

金立刚 .

中国专利 :CN1937202A ,2007-03-28

[10]

一种预对准装置及预对准方法 [P].

郭鹏 ;

王邵玉 ;

马喜宝 .

中国专利 :CN103376673B ,2013-10-30

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