预对准方法及预对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311869820.X

申请日：

2023-12-29

公开(公告)号：

CN119361499A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

杨思雨陈俊朋刘浩高宇航解奇军郎新科

申请人：

上海微电子装备（集团）股份有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

汪春艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20231229
2025-01-24	公开	公开
2025-07-25	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/68登记生效日:20250711变更事项:申请人变更前权利人:上海微电子装备（集团）股份有限公司变更后权利人:上海芯上微装科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后权利人:201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19号楼3层

共 50 条

[1]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[2]

预对准装置以及预对准方法 [P].

桥永宙 .

中国专利 :CN102257437B ,2011-11-23

[3]

一种预对准装置及预对准方法 [P].

郭鹏 ;

王邵玉 ;

马喜宝 .

中国专利 :CN103376673B ,2013-10-30

[4]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

[5]

精密传输预对准装置和预对准方法 [P].

罗先刚 ;

闫剑 ;

刘明刚 ;

李成文利 ;

王长涛 .

中国专利 :CN115881603B ,2025-05-06

[6]

预对准装置及方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

夏海 ;

王鑫鑫 ;

陈文枢 .

中国专利 :CN110943021B ,2020-03-31

[7]

预对准装置 [P].

周道 ;

何以刚 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

张鹏 ;

温燕修 ;

管莉娜 .

中国专利 :CN103192327A ,2013-07-10

[8]

二次预对准装置及对准方法 [P].

郑教增 ;

宋平 ;

徐伟 .

中国专利 :CN102809903A ,2012-12-05

[9]

预对准装置及应用于该装置的预对准方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113066746B ,2021-07-02

[10]

金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备 [P].

吴福龙 .

中国专利 :CN112662990A ,2021-04-16

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