预对准装置以及预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080002389.3

申请日：

2010-11-24

公开(公告)号：

CN102257437B

公开(公告)日：

2011-11-23

发明(设计)人：

桥永宙

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720 H01L21027 H01L21683

代理机构：

北京泛诚知识产权代理有限公司 11298

代理人：

陈波;杨本良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-05-28	授权	授权
2012-01-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101165564306 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010800023893 申请日:20101124
2011-11-23	公开	公开
2016-01-27	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727039588 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2010800023893 登记生效日:20160106 变更事项:专利权人变更前权利人:VN 系统有限公司变更后权利人:株式会社V技术变更事项:地址变更前权利人:日本神奈川变更后权利人:日本神奈川
2016-01-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101727039587 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2010800023893 变更事项:专利权人变更前:恩斯克科技有限公司变更后:VN 系统有限公司变更事项:地址变更前:日本东京都变更后:日本神奈川
2012-05-23	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101355727006 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2010800023893 变更事项:申请人变更前权利人:日本精工株式会社变更后权利人:恩斯克科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本东京都变更后权利人:日本东京都登记生效日:20120411

共 50 条

[1]

预对准方法及预对准装置 [P].

杨思雨 ;

陈俊朋 ;

刘浩 ;

高宇航 ;

解奇军 ;

郎新科 .

中国专利 :CN119361499A ,2025-01-24

[2]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[3]

精密传输预对准装置和预对准方法 [P].

罗先刚 ;

闫剑 ;

刘明刚 ;

李成文利 ;

王长涛 .

中国专利 :CN115881603B ,2025-05-06

[4]

预对准装置 [P].

周道 ;

何以刚 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

张鹏 ;

温燕修 ;

管莉娜 .

中国专利 :CN103192327A ,2013-07-10

[5]

一种预对准装置及预对准方法 [P].

郭鹏 ;

王邵玉 ;

马喜宝 .

中国专利 :CN103376673B ,2013-10-30

[6]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

[7]

预对准装置及方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

夏海 ;

王鑫鑫 ;

陈文枢 .

中国专利 :CN110943021B ,2020-03-31

[8]

一种晶圆预对准装置和预对准方法 [P].

章秀国 ;

叶莹 .

中国专利 :CN113921437A ,2022-01-11

[9]

预对准装置及应用于该装置的预对准方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113066746B ,2021-07-02

[10]

二次预对准装置及对准方法 [P].

郑教增 ;

宋平 ;

徐伟 .

中国专利 :CN102809903A ,2012-12-05

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