精密传输预对准装置和预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211716129.3

申请日：

2022-12-29

公开(公告)号：

CN115881603B

公开(公告)日：

2025-05-06

发明(设计)人：

罗先刚闫剑刘明刚李成文利王长涛

申请人：

中国科学院光电技术研究所

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/677

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

肖慧

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-06	授权	授权

共 50 条

[1]

预对准方法及预对准装置 [P].

杨思雨 ;

陈俊朋 ;

刘浩 ;

高宇航 ;

解奇军 ;

郎新科 .

中国专利 :CN119361499A ,2025-01-24

[2]

预对准装置以及预对准方法 [P].

桥永宙 .

中国专利 :CN102257437B ,2011-11-23

[3]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[4]

预对准装置 [P].

周道 ;

何以刚 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

张鹏 ;

温燕修 ;

管莉娜 .

中国专利 :CN103192327A ,2013-07-10

[5]

一种晶圆预对准装置和预对准方法 [P].

章秀国 ;

叶莹 .

中国专利 :CN113921437A ,2022-01-11

[6]

一种预对准装置及预对准方法 [P].

郭鹏 ;

王邵玉 ;

马喜宝 .

中国专利 :CN103376673B ,2013-10-30

[7]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

[8]

晶片预对准装置和方法 [P].

稻永正道 ;

胜田信一 ;

有永雄司 .

中国专利 :CN1659695A ,2005-08-24

[9]

预对准装置及方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

夏海 ;

王鑫鑫 ;

陈文枢 .

中国专利 :CN110943021B ,2020-03-31

[10]

预对准系统、预对准方法及光刻设备 [P].

靳力 ;

程建 ;

郑教增 .

中国专利 :CN111381451B ,2020-07-07

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