一种预对准装置及预对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210118779.8

申请日：

2012-04-20

公开(公告)号：

CN103376673B

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

郭鹏王邵玉马喜宝

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-25	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101756202614 IPC(主分类):G03F 9/00 专利号:ZL2012101187798 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更事项:共同专利权人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司
2013-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101545325033 IPC(主分类):G03F 9/00 专利申请号:2012101187798 申请日:20120420
2015-06-17	授权	授权
2013-10-30	公开	公开

共 50 条

[1]

预对准方法及预对准装置 [P].

杨思雨 ;

陈俊朋 ;

刘浩 ;

高宇航 ;

解奇军 ;

郎新科 .

中国专利 :CN119361499A ,2025-01-24

[2]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[3]

预对准装置以及预对准方法 [P].

桥永宙 .

中国专利 :CN102257437B ,2011-11-23

[4]

一种预对准仪及对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119965143A ,2025-05-09

[5]

一种预对准仪及对准方法 [P].

张琪 ;

符友银 ;

朱凯 .

中国专利 :CN119965143B ,2025-12-02

[6]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

[7]

精密传输预对准装置和预对准方法 [P].

罗先刚 ;

闫剑 ;

刘明刚 ;

李成文利 ;

王长涛 .

中国专利 :CN115881603B ,2025-05-06

[8]

预对准装置及方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

夏海 ;

王鑫鑫 ;

陈文枢 .

中国专利 :CN110943021B ,2020-03-31

[9]

一种晶圆预对准装置和预对准方法 [P].

章秀国 ;

叶莹 .

中国专利 :CN113921437A ,2022-01-11

[10]

预对准装置 [P].

周道 ;

何以刚 ;

曲道奎 ;

徐方 ;

李学威 ;

张鹏 ;

温燕修 ;

管莉娜 .

中国专利 :CN103192327A ,2013-07-10

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