预对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210002083.9

申请日：

2012-01-05

公开(公告)号：

CN103192327A

公开(公告)日：

2013-07-10

发明(设计)人：

周道何以刚曲道奎徐方李学威张鹏温燕修管莉娜

申请人：

申请人地址：

110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号

IPC主分类号：

B25B1100

IPC分类号：

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002

代理人：

许宗富

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101503525232 IPC(主分类):B25B 11/00 专利申请号:2012100020839 申请日:20120105
2015-05-13	授权	授权
2013-07-10	公开	公开

共 50 条

[1]

预对准方法及预对准装置 [P].

杨思雨 ;

陈俊朋 ;

刘浩 ;

高宇航 ;

解奇军 ;

郎新科 .

中国专利 :CN119361499A ,2025-01-24

[2]

预对准装置以及预对准方法 [P].

桥永宙 .

中国专利 :CN102257437B ,2011-11-23

[3]

预对准装置及硅片预对准方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

宋海军 ;

黄栋梁 .

中国专利 :CN110828359B ,2020-02-21

[4]

精密传输预对准装置和预对准方法 [P].

罗先刚 ;

闫剑 ;

刘明刚 ;

李成文利 ;

王长涛 .

中国专利 :CN115881603B ,2025-05-06

[5]

一种预对准装置及预对准方法 [P].

郭鹏 ;

王邵玉 ;

马喜宝 .

中国专利 :CN103376673B ,2013-10-30

[6]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

[7]

预对准装置及方法 [P].

王刚 ;

付红艳 ;

夏海 ;

王鑫鑫 ;

陈文枢 .

中国专利 :CN110943021B ,2020-03-31

[8]

预对准装置及应用于该装置的预对准方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN113066746B ,2021-07-02

[9]

一种晶圆预对准装置和预对准方法 [P].

章秀国 ;

叶莹 .

中国专利 :CN113921437A ,2022-01-11

[10]

二次预对准装置及对准方法 [P].

郑教增 ;

宋平 ;

徐伟 .

中国专利 :CN102809903A ,2012-12-05

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