一种多晶硅片表面制绒的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010350933.9

申请日：

2020-04-28

公开(公告)号：

CN111524985A

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

赵雷姚真真王文静

申请人：

申请人地址：

100190 北京市海淀区中关村北二条6号中科院电工所

IPC主分类号：

H01L310236

IPC分类号：

H01L3118 C30B3310

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

刘潇

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-11	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 31/0236 申请公布日:20200811
2020-08-11	公开	公开
2020-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0236 申请日:20200428

共 50 条

[1]

多晶硅片制绒方法 [P].

屈莹 .

中国专利 :CN101876088A ,2010-11-03

[2]

一种多晶硅片的表面制绒方法 [P].

汪雷 ;

张军娜 ;

唐勋 ;

刘友博 ;

蔡辉 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN106684174A ,2017-05-17

[3]

一种多晶硅片制绒方法 [P].

章圆圆 ;

符黎明 ;

区升举 ;

张丽娟 ;

陈培良 .

中国专利 :CN103681958B ,2014-03-26

[4]

多晶硅片的制绒方法 [P].

铁生年 ;

高梦宇 ;

王军 ;

侯思懿 ;

周莲 ;

房玉双 .

中国专利 :CN104695026A ,2015-06-10

[5]

一种多晶硅片制绒清洗工艺方法 [P].

左国军 ;

李国庆 .

中国专利 :CN103151423B ,2013-06-12

[6]

一种多晶硅片制绒方法及制绒液 [P].

吴甲奇 ;

王永谦 ;

吴文娟 ;

缪若文 ;

陈仁军 ;

严婷婷 ;

凌俊 ;

艾凡凡 .

中国专利 :CN103806107A ,2014-05-21

[7]

一种多晶硅片制绒液及制绒方法 [P].

刘桂林 ;

吴文娟 ;

朱海东 .

中国专利 :CN103668466A ,2014-03-26

[8]

去除多晶硅片制绒后表面多孔硅的装置 [P].

赵卫东 ;

赵雅 ;

赵枫 ;

杨冬琴 ;

汤云鶴 ;

王玉龙 ;

郭盼盼 ;

徐建鸿 ;

龚骏 .

中国专利 :CN204138820U ,2015-02-04

[9]

一种多晶硅片制绒的清洗方法 [P].

曾石发 .

中国专利 :CN106683981A ,2017-05-17

[10]

一种多晶硅片制绒装置 [P].

傅华 ;

高小云 ;

刘兵 ;

金炳生 .

中国专利 :CN211897171U ,2020-11-10

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