一种适用于晶圆的切割装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201420860648.1
申请日
2014-12-31
公开(公告)号
CN204504514U
公开(公告)日
2015-07-29
发明(设计)人
刘思佳
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号
IPC主分类号
B23K2638
IPC分类号
B23K2603 B23K2608 B23K2670
代理机构
南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人
董建林
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种适用于晶圆的切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN104551416A ,2015-04-29
[2]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN204504515U ,2015-07-29
[3]
一种适用于晶圆承载台上晶圆盒内晶圆的检测装置 [P]. 
顾阳洋 ;
林坚 ;
卢伟 ;
沈东民 ;
章健 .
中国专利 :CN218498021U ,2023-02-17
[4]
一种晶圆切割装置 [P]. 
刘思佳 .
中国专利 :CN104551388A ,2015-04-29
[5]
一种晶圆切割装置 [P]. 
徐晶骥 ;
刘美交 .
中国专利 :CN220278589U ,2024-01-02
[6]
一种适用于晶圆校准的夹持装置 [P]. 
颜博 .
中国专利 :CN214625014U ,2021-11-05
[7]
一种适用于晶圆的外侧翻转装置 [P]. 
顾阳洋 ;
林坚 ;
卢伟 ;
沈东民 ;
章健 .
中国专利 :CN218498044U ,2023-02-17
[8]
一种适用于晶圆的内侧翻转装置 [P]. 
顾阳洋 ;
林坚 ;
卢伟 ;
沈东民 ;
章健 .
中国专利 :CN218385155U ,2023-01-24
[9]
一种适用于晶圆低温测试的装置 [P]. 
杨雅鄢 ;
王志宏 ;
钟树 ;
谢刚刚 .
中国专利 :CN221707573U ,2024-09-13
[10]
一种激光晶圆切割装置 [P]. 
张少波 .
中国专利 :CN207577693U ,2018-07-06