一种适用于晶圆的内侧翻转装置

被引：0

申请号：

CN202222734320.2

申请日：

2022-10-18

公开(公告)号：

CN218385155U

公开(公告)日：

2023-01-24

发明(设计)人：

顾阳洋林坚卢伟沈东民章健

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357

代理人：

廖娜

法律状态：

授权

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种适用于晶圆的外侧翻转装置 [P].

顾阳洋 ;

林坚 ;

卢伟 ;

沈东民 ;

章健 .

中国专利 :CN218498044U ,2023-02-17

[2]

一种适用于晶圆外观检查的翻转装置 [P].

顾阳洋 ;

林坚 ;

卢伟 ;

沈东民 ;

章健 .

中国专利 :CN218144187U ,2022-12-27

[3]

一种适用于晶圆承载台上晶圆盒内晶圆的检测装置 [P].

顾阳洋 ;

林坚 ;

卢伟 ;

沈东民 ;

章健 .

中国专利 :CN218498021U ,2023-02-17

[4]

一种晶圆翻转装置 [P].

左国军 ;

蔡嘉雄 ;

邱开宇 ;

孙伟 .

中国专利 :CN222619735U ,2025-03-14

[5]

一种适用于工件的夹紧装置 [P].

姜萌萌 ;

范瑞孔 ;

代广菲 .

中国专利 :CN216421727U ,2022-05-03

[6]

一种适用于多种型号晶圆的感应装置 [P].

唐正隆 ;

王正辉 ;

吴星华 ;

储长流 ;

张立 .

中国专利 :CN215338369U ,2021-12-28

[7]

一种适用于晶圆的切割装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204504514U ,2015-07-29

[8]

一种用于晶圆翻转的机械手 [P].

滕东芹 .

中国专利 :CN222345582U ,2025-01-14

[9]

一种适用于晶圆校准的夹持装置 [P].

颜博 .

中国专利 :CN214625014U ,2021-11-05

[10]

一种适用于晶圆低温测试的装置 [P].

杨雅鄢 ;

王志宏 ;

钟树 ;

谢刚刚 .

中国专利 :CN221707573U ,2024-09-13

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