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一种化学机械抛光用保持环
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110663547.X
申请日：
2021-06-15
公开(公告)号：
CN113276018B
公开(公告)日：
2021-08-20
发明(设计)人：
尹影
刘晓亮
庞浩
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
IPC主分类号：
B24B3732
IPC分类号：
B24B3734
B24B5702
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
刘林涛
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-09-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/32 申请日:20210615 |
| 2022-10-04 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-20 | 公开 | 公开 |