一种化学机械抛光保持环

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022462029.5

申请日：

2020-10-30

公开(公告)号：

CN213858733U

公开(公告)日：

2021-08-03

发明(设计)人：

张瑞军

申请人：

申请人地址：

529000 广东省江门市蓬江区杜阮镇松岭工业区松香山一路5号C栋

IPC主分类号：

B24B3732

IPC分类号：

代理机构：

江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577

代理人：

何办君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

刘建业 .

中国专利 :CN213858731U ,2021-08-03

[2]

化学机械抛光保持环 [P].

相红旗 ;

姚力军 ;

潘杰 .

中国专利 :CN212170043U ,2020-12-18

[3]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

孟松林 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

倪孟骐 .

中国专利 :CN211163459U ,2020-08-04

[4]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

孟松林 ;

赵德文 ;

李长坤 ;

倪孟骐 .

中国专利 :CN111482893A ,2020-08-04

[5]

一种化学机械抛光用保持环 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

侯娟华 .

中国专利 :CN215847582U ,2022-02-18

[6]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

孟松林 .

中国专利 :CN118163032A ,2024-06-11

[7]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

孟松林 .

中国专利 :CN110524412B ,2024-07-12

[8]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

孟松林 .

中国专利 :CN211193454U ,2020-08-07

[9]

一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头 [P].

赵德文 ;

刘远航 ;

孟松林 .

中国专利 :CN110524412A ,2019-12-03

[10]

用于化学机械抛光的保持环 [P].

安德鲁·J·纳甘盖斯特 ;

克里斯托弗·兴-均·李 ;

托马斯·李 ;

阿南德·N·伊耶 ;

刁杰 ;

焕波·张 ;

埃里克·S·罗丹姆 ;

李魏成 ;

吴正勋 .

美国专利 :CN113997194B ,2024-04-05

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