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CMP抛光垫调节器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880087576.2
申请日：
2018-12-27
公开(公告)号：
CN111655428B
公开(公告)日：
2020-09-11
发明(设计)人：
R·K·辛格
D·辛格
申请人：
申请人地址：
美国马萨诸塞州
IPC主分类号：
B24B53017
IPC分类号：
B24B5312
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
李婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20181227 |
| 2022-12-16 | 授权 | 授权 |
| 2020-09-11 | 公开 | 公开 |