一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200520127220.7

申请日：

2005-10-10

公开(公告)号：

CN201049437Y

公开(公告)日：

2008-04-23

发明(设计)人：

文卡塔·R·巴拉伽纳乔治·拉泽若肯尼·金泰·尼格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

B24B3704

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

赵飞

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-12-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101362527849 IPC(主分类):B24B 37/04 专利号:ZL2005201272207 申请日:20051010 授权公告日:20080423 终止日期:20111010
2008-04-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置 [P].

文卡塔·R·巴拉伽纳 ;

乔治·拉泽若 ;

肯尼·金泰·尼格 .

中国专利 :CN201239910Y ,2009-05-20

[2]

一种抛光垫调节器及具有抛光垫调节器的化学机械装置 [P].

文卡塔·R·巴拉伽纳 ;

乔治·拉泽若 ;

肯尼·金泰·尼格 .

中国专利 :CN201244770Y ,2009-05-27

[3]

一种抛光垫调节器 [P].

文卡塔·R·巴拉伽纳 ;

乔治·拉泽若 ;

肯尼·金泰·尼格 .

中国专利 :CN201214208Y ,2009-04-01

[4]

CMP抛光垫调节器 [P].

R·K·辛格 ;

D·辛格 .

中国专利 :CN111655428B ,2020-09-11

[5]

垫调节器及化学机械抛光方法 [P].

申宪桦 ;

匡训冲 .

中国专利 :CN112743449A ,2021-05-04

[6]

化学机械抛光装置的调节器 [P].

蔡熙成 ;

金志郁 .

中国专利 :CN204868552U ,2015-12-16

[7]

提高垫寿命的化学机械抛光垫调节器方向速度控制 [P].

Y·J·派克 .

中国专利 :CN1524027A ,2004-08-25

[8]

化学机械抛光垫调节器及其制造方法 [P].

金信京 ;

金圣奎 ;

朴东阅 ;

金刚俊 ;

金敬真 ;

金兑炫 .

中国专利 :CN112223133A ,2021-01-15

[9]

具有缓冲垫的调节器及具有该调节器的头盔 [P].

童凡 .

中国专利 :CN223695025U ,2025-12-23

[10]

调节器和包括该调节器的化学机械抛光设备 [P].

李龙熙 ;

韩昇澈 ;

李羲宽 ;

徐钟辉 .

中国专利 :CN110605657A ,2019-12-24

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