SiC材料外延生长设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022618985.8

申请日：

2020-11-13

公开(公告)号：

CN213835528U

公开(公告)日：

2021-07-30

发明(设计)人：

张森费磊

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号

IPC主分类号：

C23C1632

IPC分类号：

C23C1654 C23C16458

代理机构：

北京金咨知识产权代理有限公司 11612

代理人：

宋教花

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

用于外延生长设备的预热环及外延生长设备 [P].

夏振军 ;

孙伟 .

中国专利 :CN211879338U ,2020-11-06

[2]

用于外延生长设备的开关阀和外延生长设备 [P].

权爱春 ;

李青海 ;

张峻纲 ;

张礼鑫 ;

滕杨 ;

王敏 ;

王雪伶 ;

谢鑫磊 .

中国专利 :CN222479535U ,2025-02-14

[3]

外延生长基座及具有其的外延生长设备 [P].

张礼鑫 ;

李青海 ;

权爱春 ;

张峻纲 ;

滕杨 ;

王雪伶 ;

谢鑫磊 ;

王敏 .

中国专利 :CN223033507U ,2025-06-27

[4]

外延生长设备 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN107435164A ,2017-12-05

[5]

外延生长设备 [P].

石磊 ;

唐超凡 ;

王娟 ;

刘柱 ;

万胜强 ;

李勇 ;

王韬 ;

鲁彤 .

中国专利 :CN307302506S ,2022-04-29

[6]

外延生长设备 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117822119A ,2024-04-05

[7]

外延生长设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN103806094A ,2014-05-21

[8]

外延生长设备 [P].

黄小辉 ;

杨斌 ;

滕龙 ;

康建 ;

梁旭东 .

中国专利 :CN105506733A ,2016-04-20

[9]

一种SiC晶圆载具及外延生长设备 [P].

蔡文必 ;

郑元宇 ;

胡洪雨 ;

林峰 ;

张富钦 .

中国专利 :CN216749856U ,2022-06-14

[10]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

马欢 ;

田娜娜 ;

葛永晖 ;

蔡历武 ;

张明 .

中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02

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