用于外延生长设备的开关阀和外延生长设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420638030.4

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN222479535U

公开(公告)日：

2025-02-14

发明(设计)人：

权爱春李青海张峻纲张礼鑫滕杨王敏王雪伶谢鑫磊

申请人：

中环领先（徐州）半导体材料有限公司中环领先半导体科技股份有限公司

申请人地址：

221004 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号

IPC主分类号：

F16K11/12

IPC分类号：

F16K27/06 H01L21/205 C30B25/16

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

徐章伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-14	授权	授权

共 50 条

[1]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

费璐 ;

林志鑫 ;

曹共柏 ;

王华杰 ;

董晨华 ;

季文明 .

中国专利 :CN110578166A ,2019-12-17

[2]

用于外延生长设备的预热环及外延生长设备 [P].

夏振军 ;

孙伟 .

中国专利 :CN211879338U ,2020-11-06

[3]

外延生长设备和外延生长方法 [P].

马欢 ;

田娜娜 ;

葛永晖 ;

蔡历武 ;

张明 .

中国专利 :CN119913608A ,2025-05-02

[4]

用于外延生长设备的预热环以及外延生长设备 [P].

邓晓军 .

中国专利 :CN111599716B ,2024-06-21

[5]

用于外延生长设备的预热环以及外延生长设备 [P].

邓晓军 .

中国专利 :CN111599716A ,2020-08-28

[6]

外延生长设备 [P].

刘源 ;

保罗·邦凡蒂 .

中国专利 :CN107435164A ,2017-12-05

[7]

用于外延生长设备的支撑结构、外延生长设备及外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118910720A ,2024-11-08

[8]

外延生长设备 [P].

石磊 ;

唐超凡 ;

王娟 ;

刘柱 ;

万胜强 ;

李勇 ;

王韬 ;

鲁彤 .

中国专利 :CN307302506S ,2022-04-29

[9]

外延生长设备 [P].

曹雅典 .

中国专利 :CN117822119A ,2024-04-05

[10]

外延生长设备 [P].

董志清 .

中国专利 :CN103806094A ,2014-05-21

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