一种BiFeO3薄膜电阻存储器结构及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200910199163.6
申请日
2009-11-20
公开(公告)号
CN101728484A
公开(公告)日
2010-06-09
发明(设计)人
陈心满 石旺舟 包定华 王涛
申请人
申请人地址
200234 上海市徐汇区桂林路100号
IPC主分类号
H01L4500
IPC分类号
代理机构
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227
代理人
季申清
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
一种BiFeO3薄膜及其制备方法 [P]. 
陈德杨 ;
孙菲 ;
田国 ;
陈超 ;
邓雄 ;
高兴森 .
中国专利 :CN108565336A ,2018-09-21
[2]
一种制备BiFeO3薄膜的方法 [P]. 
李宜彬 ;
赫晓东 ;
吕宏振 .
中国专利 :CN101691655A ,2010-04-07
[3]
一种基于BiFeO3的阻变存储器及其制备方法 [P]. 
杨正春 ;
李珍 ;
吴家刚 ;
臧传来 ;
周宝增 ;
李向远 ;
赵金石 ;
张楷亮 .
中国专利 :CN110752290A ,2020-02-04
[4]
一种基于MnZn共掺杂BiFeO3薄膜的阻变存储器及其制备方法 [P]. 
杨正春 ;
李珍 ;
臧传来 ;
吴家刚 ;
周宝增 ;
赵金石 ;
张楷亮 .
中国专利 :CN110752289A ,2020-02-04
[5]
OTS法制备BiFeO3薄膜的方法 [P]. 
谈国强 ;
程蒙 .
中国专利 :CN102560454A ,2012-07-11
[6]
利用射频磁控溅射工艺制备BiFeO3薄膜阻变存储器的方法 [P]. 
朱慧 ;
汪鹏飞 ;
冯士维 ;
郭春生 ;
张亚民 .
中国专利 :CN106835052A ,2017-06-13
[7]
溶胶凝胶法制备BiFeO3薄膜的方法 [P]. 
谈国强 ;
程蒙 .
中国专利 :CN102534587A ,2012-07-04
[8]
一种在Si衬底上制备高(100)取向BiFeO3薄膜的方法 [P]. 
张铭 ;
王光明 ;
李廷先 ;
严辉 ;
宋雪梅 ;
王如志 ;
侯育冬 ;
朱满康 ;
汪浩 ;
王波 .
中国专利 :CN102051582A ,2011-05-11
[9]
图案化BiFeO3薄膜的光刻自组装制备方法 [P]. 
谈国强 ;
王艳 ;
任宣儒 ;
宋亚玉 .
中国专利 :CN102163486B ,2011-08-24
[10]
一种电阻转换存储器结构及其制造方法 [P]. 
张挺 ;
朱南飞 ;
宋志棠 ;
刘波 ;
吴关平 ;
张超 ;
谢志峰 ;
封松林 .
中国专利 :CN102148329B ,2011-08-10