AlN势垒层、AlN/GaN HEMT外延结构及其生长方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911405708.4
申请日
2019-12-31
公开(公告)号
CN111106171A
公开(公告)日
2020-05-05
发明(设计)人
付羿 周名兵
申请人
申请人地址
330096 江西省南昌市高新开发区艾溪湖北路699号
IPC主分类号
H01L29778
IPC分类号
H01L2920 H01L29205 H01L29207 H01L21335
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
AlN势垒层、AlN/GaN HEMT外延结构及其生长方法 [P]. 
付羿 ;
周名兵 .
中国专利 :CN111106171B ,2024-03-19
[2]
AlGaN/GaN HEMT中的AlGaN势垒层及其生长方法 [P]. 
付羿 ;
周名兵 .
中国专利 :CN111106170A ,2020-05-05
[3]
AlGaN/GaN HEMT中的AlGaN势垒层及其生长方法 [P]. 
付羿 ;
周名兵 .
中国专利 :CN111106170B ,2024-05-17
[4]
含有超晶格势垒层的LED结构外延生长方法及其结构 [P]. 
牛凤娟 ;
戚运东 .
中国专利 :CN103560187A ,2014-02-05
[5]
含有超晶格势垒层的LED结构外延生长方法及其结构 [P]. 
艾剑雄 .
中国专利 :CN103594570B ,2014-02-19
[6]
InGaN/GaN异质外延结构及其生长方法 [P]. 
刘炜 ;
赵德刚 ;
陈平 ;
刘宗顺 ;
朱建军 ;
江德生 ;
杨静 .
中国专利 :CN108598192A ,2018-09-28
[7]
用于GaN HEMT的超晶格结构、缓冲层、GaN HEMT外延片及生长方法 [P]. 
陈耀 ;
陈嘉俊 ;
康双双 ;
郭世平 .
中国专利 :CN119403191A ,2025-02-07
[8]
一种硅基AlGaN/GaN HEMT外延结构及其生长方法 [P]. 
王明洋 ;
李国鹏 ;
王银海 ;
仇光寅 ;
马梦杰 .
中国专利 :CN119922941A ,2025-05-02
[9]
外延结构及其生长方法 [P]. 
李永 ;
王耀国 .
中国专利 :CN102931303A ,2013-02-13
[10]
基于AlN厚膜的GaN HEMT外延晶圆及其制造方法 [P]. 
宋俊午 ;
林贤哲 ;
韩永勋 ;
尹亨善 .
韩国专利 :CN120825980A ,2025-10-21