一种凹面衍射光栅衍射波前的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210214082.0

申请日：

2012-06-26

公开(公告)号：

CN102706542A

公开(公告)日：

2012-10-03

发明(设计)人：

钱林勇黄元申徐邦联王琦张大伟陶春先倪争技庄松林

申请人：

申请人地址：

200093 上海市杨浦区军工路516号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245

代理人：

宁芝华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101353334185 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2012102140820 申请日:20120626
2012-10-03	公开	公开
2015-02-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101710741521 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2012102140820 申请公布日:20121003

共 50 条

[21]

一种用于设计衍射光栅结构的方法和衍射光栅结构 [P].

托马斯·瓦里尤斯 ;

胡海·皮耶塔里宁 ;

P·拉科南 .

中国专利 :CN101765793A ,2010-06-30

[22]

一种衍射光栅 [P].

史丽娜 ;

牛洁斌 ;

李海亮 ;

刘子维 ;

浦探超 ;

谢常青 ;

刘明 .

中国专利 :CN106772732B ,2017-05-31

[23]

衍射光栅的制造方法 [P].

土岐贵弘 ;

和田幸久 ;

德田敏 ;

林信和 ;

吉牟田利典 .

中国专利 :CN108470596A ,2018-08-31

[24]

全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统 [P].

皮道锐 ;

黄元申 ;

张大伟 ;

夏俊 ;

倪争技 ;

夏纪朝 ;

庄松林 .

中国专利 :CN201364396Y ,2009-12-16

[25]

制造衍射光栅的方法 [P].

J·奥尔科宁 ;

I·瓦蒂亚宁 ;

J·拉霍迈基 .

中国专利 :CN111065941A ,2020-04-24

[26]

制造衍射光栅的方法 [P].

杨书强 ;

K·罗 ;

V·辛格 ;

F·Y·徐 .

中国专利 :CN114514443A ,2022-05-17

[27]

制造衍射光栅的方法 [P].

J·奥尔科宁 ;

I·瓦蒂亚宁 ;

J·拉霍迈基 .

:CN119986883A ,2025-05-13

[28]

曲面衍射光栅的模型的制造方法、曲面衍射光栅的制造方法、曲面衍射光栅以及光学装置 [P].

青野宇纪 ;

松井繁 ;

江畠佳定 ;

八重樫健太 .

中国专利 :CN106574998A ,2017-04-19

[29]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

中国专利 :CN118732110A ,2024-10-01

[30]

衍射光栅的制造 [P].

卢多维克·戈代 ;

韦恩·麦克米兰 ;

罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 .

中国专利 :CN112368639A ,2021-02-12

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