一种化学机械抛光液及其应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201410856725.0
申请日
2014-12-29
公开(公告)号
CN105802510A
公开(公告)日
2016-07-27
发明(设计)人
陈宝明 高嫄 荆建芬 姚颖 潘依君 邱腾飞 王春梅
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层以及第3层的部分区域
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
代理机构
上海翰鸿律师事务所 31246
代理人
李佳铭
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液及其应用 [P]. 
姚颖 ;
荆建芬 ;
杜玲曦 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
张建 ;
杨俊雅 ;
潘依君 ;
王春梅 .
中国专利 :CN108250975A ,2018-07-06
[2]
化学机械抛光液及其应用 [P]. 
赵东旭 .
中国专利 :CN113249035B ,2024-05-24
[3]
化学机械抛光液及其应用 [P]. 
赵东旭 .
中国专利 :CN113249035A ,2021-08-13
[4]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
张建 .
中国专利 :CN102533116B ,2012-07-04
[5]
一种化学机械抛光液 [P]. 
潘依君 ;
荆建芬 ;
张建 ;
姚颖 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
杨俊雅 ;
卞鹏程 ;
李恒 .
中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05
[6]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
杨春晓 .
中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17
[7]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
杨春晓 .
中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23
[8]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 .
中国专利 :CN102101979A ,2011-06-22
[9]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
杨春晓 ;
姚红 .
中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17
[10]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 .
中国专利 :CN102108261A ,2011-06-29