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一种化学机械抛光液及其应用
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201410856725.0
申请日
:
2014-12-29
公开(公告)号
:
CN105802510A
公开(公告)日
:
2016-07-27
发明(设计)人
:
陈宝明
高嫄
荆建芬
姚颖
潘依君
邱腾飞
王春梅
申请人
:
申请人地址
:
201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层以及第3层的部分区域
IPC主分类号
:
C09G102
IPC分类号
:
代理机构
:
上海翰鸿律师事务所 31246
代理人
:
李佳铭
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2016-07-27
公开
公开
2018-07-17
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C09G 1/02 申请公布日:20160727
共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液及其应用
[P].
姚颖
论文数:
0
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0
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姚颖
;
荆建芬
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荆建芬
;
杜玲曦
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杜玲曦
;
宋凯
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宋凯
;
蔡鑫元
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蔡鑫元
;
张建
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张建
;
杨俊雅
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杨俊雅
;
潘依君
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潘依君
;
王春梅
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王春梅
.
中国专利
:CN108250975A
,2018-07-06
[2]
化学机械抛光液及其应用
[P].
赵东旭
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0
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机构:
长春长光圆辰微电子技术有限公司
长春长光圆辰微电子技术有限公司
赵东旭
.
中国专利
:CN113249035B
,2024-05-24
[3]
化学机械抛光液及其应用
[P].
赵东旭
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赵东旭
.
中国专利
:CN113249035A
,2021-08-13
[4]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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荆建芬
;
张建
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张建
.
中国专利
:CN102533116B
,2012-07-04
[5]
一种化学机械抛光液
[P].
潘依君
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潘依君
;
荆建芬
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荆建芬
;
张建
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张建
;
姚颖
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姚颖
;
宋凯
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宋凯
;
蔡鑫元
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蔡鑫元
;
杨俊雅
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杨俊雅
;
卞鹏程
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卞鹏程
;
李恒
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李恒
.
中国专利
:CN109971358A
,2019-07-05
[6]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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荆建芬
;
杨春晓
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杨春晓
.
中国专利
:CN101457126A
,2009-06-17
[7]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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荆建芬
;
蔡鑫元
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蔡鑫元
;
杨春晓
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杨春晓
.
中国专利
:CN101747842B
,2010-06-23
[8]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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0
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荆建芬
.
中国专利
:CN102101979A
,2011-06-22
[9]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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荆建芬
;
杨春晓
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杨春晓
;
姚红
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姚红
.
中国专利
:CN101457127B
,2009-06-17
[10]
一种化学机械抛光液
[P].
荆建芬
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荆建芬
;
蔡鑫元
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蔡鑫元
.
中国专利
:CN102108261A
,2011-06-29
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