一种化学机械抛光液及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611231355.7

申请日：

2016-12-28

公开(公告)号：

CN108250975A

公开(公告)日：

2018-07-06

发明(设计)人：

姚颖荆建芬杜玲曦宋凯蔡鑫元张建杨俊雅潘依君王春梅

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6-9幢底层

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;沈汶波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20161228
2018-07-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

荆建芬 ;

姚颖 ;

邱腾飞 ;

蔡鑫元 ;

陈宝明 .

中国专利 :CN104745090A ,2015-07-01

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 .

中国专利 :CN102533125A ,2012-07-04

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

荆建芬 ;

卞鹏程 ;

潘依君 ;

李恒 ;

宋凯 ;

杨俊雅 ;

马健 .

中国专利 :CN109971354A ,2019-07-05

[4]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

姚颖 ;

周文婷 ;

荆建芬 ;

杨俊雅 ;

李恒 ;

卞鹏程 ;

黄悦锐 .

中国专利 :CN111378366B ,2020-07-07

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[6]

一种钨化学机械抛光液及其应用 [P].

王瑞芹 ;

王永东 .

中国专利 :CN119570371A ,2025-03-07

[7]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

陈宝明 ;

高嫄 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

潘依君 ;

邱腾飞 ;

王春梅 .

中国专利 :CN105802510A ,2016-07-27

[8]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

王麟 .

中国专利 :CN101280158A ,2008-10-08

[9]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

邱欢 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

王欣 ;

陆弘毅 ;

蔡鑫元 ;

周文婷 ;

杨俊雅 ;

郑闪闪 ;

宋凯 ;

明伟 ;

王拓 .

中国专利 :CN118256152A ,2024-06-28

[10]

多晶硅化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101652445B ,2010-02-17

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