一种多型复合磁场可选紧凑旋转磁场辅助离子镀弧源装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220586798.9

申请日：

2012-11-08

公开(公告)号：

CN202945320U

公开(公告)日：

2013-05-22

发明(设计)人：

郎文昌

申请人：

申请人地址：

325035 浙江省温州市茶山高教园区（温州大学城）

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

代理机构：

沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234

代理人：

张志伟

法律状态：

避免重复授权放弃专利权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-09	避免重复授权放弃专利权	避免重复授权放弃专利权号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101702623718 IPC(主分类):C23C 14/34 专利号:ZL2012205867989 申请日:20121108 授权公告日:20130522 放弃生效日:20140709
2013-05-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种多结构耦合磁场适应型旋转弧离子镀装置 [P].

郎文昌 ;

王向红 ;

李明霞 .

中国专利 :CN102936718B ,2013-02-20

[2]

可调速调幅的旋转磁场控制的电弧离子镀弧源 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

赵彦辉 ;

华伟刚 ;

闻立时 .

中国专利 :CN201162037Y ,2008-12-10

[3]

一种旋转磁场阴极弧源 [P].

郎文昌 ;

王向红 ;

胡晓忠 .

中国专利 :CN109468598A ,2019-03-15

[4]

耦合磁场辅助电弧离子镀沉积装置 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

杨英 ;

赵彦辉 ;

杜昊 ;

闻立时 .

中国专利 :CN201158701Y ,2008-12-03

[5]

一种二极旋转耦合磁场辅助准扩散弧冷阴极离子镀装置 [P].

郎文昌 ;

高斌 .

中国专利 :CN202945317U ,2013-05-22

[6]

一种适用于阴极弧靶的旋转磁场装置及多弧离子镀装置 [P].

马延文 .

中国专利 :CN120311143A ,2025-07-15

[7]

一种旋转横向磁场耦合轴向磁场辅助电弧离子镀装置 [P].

赵彦辉 ;

肖金泉 ;

于宝海 .

中国专利 :CN203569181U ,2014-04-30

[8]

一种旋转横向磁场耦合轴向磁场辅助电弧离子镀装置 [P].

赵彦辉 ;

肖金泉 ;

于宝海 .

中国专利 :CN103643213A ,2014-03-19

[9]

多弧离子镀弧源装置 [P].

王磊 ;

孙雪晴 ;

胡平 ;

储松柏 ;

任斌 .

中国专利 :CN216074013U ,2022-03-18

[10]

PLC可控的旋转横向磁场辅助电弧离子镀设备 [P].

肖金泉 ;

郎文昌 ;

孙超 ;

宫骏 ;

赵彦辉 ;

杨英 ;

华伟刚 ;

闻立时 .

中国专利 :CN201162038Y ,2008-12-10

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