一种光刻机用双电机升降机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022800528.0

申请日：

2020-11-28

公开(公告)号：

CN214109224U

公开(公告)日：

2021-09-03

发明(设计)人：

王华甘泉

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市东城区主山振兴路333号(B幢一楼)

IPC主分类号：

B23K26362

IPC分类号：

B23K2608 B23K2670

代理机构：

东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231

代理人：

成伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-03	授权	授权

共 50 条

[1]

升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法 [P].

管博然 ;

黄亚庆 ;

丛国栋 .

中国专利 :CN110028008A ,2019-07-19

[2]

一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机 [P].

唐玉良 ;

齐芊枫 .

中国专利 :CN208283722U ,2018-12-25

[3]

一种光刻机相机位置调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN214252875U ,2021-09-21

[4]

一种光刻机的送料机构 [P].

邵玉成 .

中国专利 :CN222330713U ,2025-01-10

[5]

一种光刻机及其曝光机构 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN215067718U ,2021-12-07

[6]

一种光刻机晶圆放置板更换机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN214252874U ,2021-09-21

[7]

一种双龙门光刻机 [P].

王华 ;

甘泉 .

中国专利 :CN216361913U ,2022-04-22

[8]

一种光刻机上台面板位置调节机构及光刻机 [P].

霍锦充 .

中国专利 :CN213904061U ,2021-08-06

[9]

一种平仓机用升降机构 [P].

房华 .

中国专利 :CN209226504U ,2019-08-09

[10]

一种光刻机用自动限位机构 [P].

刘勇 ;

王云鹏 ;

汪松亮 .

中国专利 :CN223006381U ,2025-06-20

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