一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821003185.1

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN208283722U

公开(公告)日：

2018-12-25

发明(设计)人：

唐玉良齐芊枫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21677 H01L21683

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻机硅片取片机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 .

中国专利 :CN220962136U ,2024-05-14

[2]

一种光刻机硅片转移机构 [P].

刘炫烨 .

中国专利 :CN207473297U ,2018-06-08

[3]

一种光刻机硅片传送装置 [P].

鹿庆文 .

中国专利 :CN216052603U ,2022-03-15

[4]

一种光刻机硅片转移机构 [P].

刘炫烨 .

中国专利 :CN107678249A ,2018-02-09

[5]

一种光刻机的硅片拿取装置 [P].

詹菲 ;

李恒 .

中国专利 :CN212989876U ,2021-04-16

[6]

一种光刻机的硅片输送装置 [P].

丁桃宝 ;

陈愿 .

中国专利 :CN206209292U ,2017-05-31

[7]

一种光刻机硅片盛放盒 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN212905894U ,2021-04-06

[8]

一种多工位硅片光刻机 [P].

秦有贵 ;

辛奇 ;

胡凯 ;

徐峰 ;

杨军 ;

闫乐成 ;

秦宝宏 .

中国专利 :CN217425924U ,2022-09-13

[9]

一种多工位硅片光刻机 [P].

高培成 .

中国专利 :CN212302210U ,2021-01-05

[10]

光刻机硅片台移动装置 [P].

张俊杰 .

中国专利 :CN213780634U ,2021-07-23

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