一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821003185.1

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN208283722U

公开(公告)日：

2018-12-25

发明(设计)人：

唐玉良齐芊枫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21677 H01L21683

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-25	授权	授权

共 50 条

[41]

一种投影光刻机的硅片台对准机构 [P].

胡淘 ;

胡松 ;

邢薇 ;

徐文祥 .

中国专利 :CN102566316A ,2012-07-11

[42]

一种太阳能硅片光刻机中的排屑机构 [P].

沈彪 ;

李向清 ;

胡德良 .

中国专利 :CN202189226U ,2012-04-11

[43]

光刻机硅片自动检测校正系统 [P].

丁桃宝 ;

陈愿 .

中国专利 :CN206209290U ,2017-05-31

[44]

一种光刻机温控硅片载物台 [P].

朱骏 ;

陈力钧 .

中国专利 :CN102445857B ,2012-05-09

[45]

一种采用镜像硅片台的光刻机 [P].

杨志勇 .

中国专利 :CN103197506B ,2013-07-10

[46]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650B ,2025-04-15

[47]

呈阵列布置的多掩模光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201503535U ,2010-06-09

[48]

一种多工位光刻机硅片台系统 [P].

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511650A ,2025-02-25

[49]

一种光刻机硅片台微动工作台 [P].

成荣 ;

朱煜 ;

张鸣 ;

刘召 ;

杨开明 ;

徐登峰 ;

张利 ;

田丽 ;

叶伟楠 ;

张金 ;

尹文生 ;

穆海华 ;

胡金春 ;

赵彦坡 ;

秦慧超 ;

胡清平 .

中国专利 :CN203275876U ,2013-11-06

[50]

一种具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN101694561B ,2010-04-14

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