一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821003185.1

申请日：

2018-06-27

公开(公告)号：

CN208283722U

公开(公告)日：

2018-12-25

发明(设计)人：

唐玉良齐芊枫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21677 H01L21683

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

王宏婧

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-25	授权	授权

共 50 条

[21]

一种柔性吸附组件、硅片交接机构及硅片交接装置 [P].

赵文波 .

中国专利 :CN214670086U ,2021-11-09

[22]

一种光刻机硅片台移动机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511649B ,2025-05-20

[23]

一种光刻机硅片台移动机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511649A ,2025-02-25

[24]

一种光刻机硅片传控方法及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 .

中国专利 :CN117170195B ,2025-09-19

[25]

光刻机硅片台移动装置 [P].

钟敏 .

中国专利 :CN112180693B ,2024-08-27

[26]

光刻机硅片台移动装置 [P].

钟敏 .

中国专利 :CN112180693A ,2021-01-05

[27]

硅片分片机的升降机构 [P].

卢森景 ;

王相军 ;

周道全 .

中国专利 :CN202948963U ,2013-05-22

[28]

一种光刻机的硅片直线预矫正装置 [P].

张雪奎 .

中国专利 :CN212694245U ,2021-03-12

[29]

具有多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201583783U ,2010-09-15

[30]

一种硅片交接装置及其硅片交接方法 [P].

秦磊 ;

王天明 ;

袁志扬 .

中国专利 :CN101702404A ,2010-05-05

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