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薄膜压力传感器及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510915107.3
申请日：
2015-12-11
公开(公告)号：
CN105466626B
公开(公告)日：
2016-04-06
发明(设计)人：
曹勇全
谢锋
谢明
申请人：
申请人地址：
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号：
G01L1904
IPC分类号：
代理机构：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人：
周长清
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658478854 IPC(主分类):G01L 19/04 专利申请号:2015109151073 申请日:20151211 |
| 2016-04-06 | 公开 | 公开 |
| 2019-01-11 | 授权 | 授权 |