薄膜压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510915107.3

申请日：

2015-12-11

公开(公告)号：

CN105466626B

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

曹勇全谢锋谢明

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

G01L1904

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658478854 IPC(主分类):G01L 19/04 专利申请号:2015109151073 申请日:20151211
2016-04-06	公开	公开
2019-01-11	授权	授权

共 50 条

[41]

压力传感器及其制造方法 [P].

易成汉 ;

何可 ;

李威威 ;

杨兵 ;

许述达 ;

王政焱 ;

史胜 ;

李伟民 ;

马鹏常 ;

陈明 ;

杨春雷 .

中国专利 :CN110579295A ,2019-12-17

[42]

压力传感器及其制造方法 [P].

赵怿 ;

周志健 ;

熊娟 ;

余伦宙 .

中国专利 :CN112924058A ,2021-06-08

[43]

压力传感器及其制造方法 [P].

赵怿 ;

周志健 ;

熊娟 ;

余伦宙 .

中国专利 :CN112924058B ,2025-04-01

[44]

压力传感器及其制造方法 [P].

铃木一志 ;

酒井和也 ;

神取勇 .

中国专利 :CN100565152C ,2006-08-30

[45]

压力传感器及其制造方法 [P].

杨天伦 ;

毛剑宏 .

中国专利 :CN103900740A ,2014-07-02

[46]

压力传感器及其制造方法 [P].

吕萍 ;

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN107892268A ,2018-04-10

[47]

压力传感器及其制造方法 [P].

田中宏明 ;

藤井哲夫 .

中国专利 :CN101542258B ,2009-09-23

[48]

压力传感器及其制造方法 [P].

陈建铭 ;

黄进文 ;

王钦宏 ;

林靖渊 ;

谢佑圣 .

中国专利 :CN104066040B ,2014-09-24

[49]

压力传感器及其制造方法 [P].

本山久雄 .

中国专利 :CN101545815A ,2009-09-30

[50]

压力传感器及其制造方法 [P].

增田誉 .

中国专利 :CN1140783C ,2001-02-07

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