薄膜压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510915107.3

申请日：

2015-12-11

公开(公告)号：

CN105466626B

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

曹勇全谢锋谢明

申请人：

申请人地址：

410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号

IPC主分类号：

G01L1904

IPC分类号：

代理机构：

湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008

代理人：

周长清

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101658478854 IPC(主分类):G01L 19/04 专利申请号:2015109151073 申请日:20151211
2016-04-06	公开	公开
2019-01-11	授权	授权

共 50 条

[1]

快速响应薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

雷念程 .

中国专利 :CN107543644A ,2018-01-05

[2]

快速响应薄膜压力传感器及其制造方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN109100080A ,2018-12-28

[3]

压力传感器及其制造方法 [P].

丁伊央 ;

彭章军 ;

张东英 ;

帅斌 ;

唐海军 ;

陈永奇 .

中国专利 :CN118190230A ,2024-06-14

[4]

薄膜压力传感器 [P].

吉晨阳 ;

丁伟 ;

杨玉卓 ;

张晓奕 .

中国专利 :CN305529445S ,2020-01-03

[5]

薄膜压力传感器 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105021341B ,2015-11-04

[6]

薄膜压力传感器 [P].

张亚峰 ;

赵亮 .

中国专利 :CN307140952S ,2022-03-04

[7]

薄膜压力传感器 [P].

杨俊 ;

戚思芹 ;

周润 .

中国专利 :CN309620943S ,2025-11-21

[8]

薄膜压力传感器 [P].

崔文铮 .

中国专利 :CN304492961S ,2018-02-06

[9]

薄膜压力传感器 [P].

雷卫武 .

中国专利 :CN304571205S ,2018-04-06

[10]

薄膜压力传感器 [P].

叶宏 ;

陈旭 ;

夏小钦 .

中国专利 :CN307574571S ,2022-09-30

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